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5nm?3nm?芯片制程的极限究竟在哪里?

现在的集成电路制造技术其核心就是光刻技术,这种方法与照相类似,就是将掩模版上的图形转移到涂有光致抗蚀剂(或称光刻胶)的硅片上。

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